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　　证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权半岛·体育bob官方网，专利名为“穿墙式光学检测单元和涂胶显影设备”，专利申请号为CN4.7，授权日为2024年12月13日。

　　专利摘要：本实用新型提供一种穿墙式光学检测单元和涂胶显影设备，该单元应用于涂胶显影设备，包括：穿墙载板、光源、反射镜、探测器、固定件和驱动件；所述固定件、所述光源、所述反射镜和所述探测器均与所述穿墙载板固定连接；所述驱动件与所述固定件活动连接半岛·体育bob官方网，所述驱动件用于驱动晶圆从涂胶显影设备的第一模块移动至第二模块；所述光源用于向检测区域投射光线，当驱动件驱动晶圆经过所述检测区域时，所述光线依次经过晶圆表面和反射镜反射进入所述探测器；所述探测器用于根据反射的所述光线生成图像数据。该检测单元用于提升对晶圆进行光学检测工艺的产能。

　　今年以来芯源微新获得专利授权39个，较去年同期减少了7.14%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。半岛bandao体育，半岛bandao体育，